בדרך כלל ישנם שני תהליכי טיפול בגז פסולת בתעשיית שמן הסיליקון
בעירה תרמית מחודשת RTOוכןשיטת ריסוס + ספיחת פחמן מופעלתו מכשיר הטיפול בגז הפליטה כולל מפריד נוזלי גז, מעבה עמוק, מגדל שטיפת חומצה, מגדל שטיפה אלקלי, פילטר יבש, תנור בעירה קטליטי RTO וארובה פליטה.