אחד נוסף הוא שיטת הפאזה של גז-, שיטת תצהיר אדי כימי (CAV), המכונה גם שיטת פירוליזה, שיטה יבשה או שיטת בעירה. חומרי הגלם שלו הם בדרך כלל סיליקון טטרכלוריד, חמצן (או אוויר) ומימן, המגיבים בטמפרטורות גבוהות.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. אוויר ומימן נתונים בהתאמה ללחיצה, הפרדה, קירור והתייבשות, ייבוש סיליקה ג'ל, הסרת אבק וסינון לפני שנשלח לתנור ההידרוליזה הסינטטי. לאחר שנשלח חומר הגלם של סיליקון טטרכלוריד לעמוד הזיקוק לצורך זיקוק, הוא מחומם ומתאדה במאייד, ואז נשלח לתנור ההידרוליזה הסינתטי עם אוויר יבש ומסונן כמוביל. סיליקון טטרכלוריד מאדה בטמפרטורות גבוהות (טמפרטורת הלהבה 1000 {}}} 1800 מעלות) ואז עוברת גז {}}} הידרוליזה שלב עם כמות מסוימת של מימן וחמצן (או אוויר) בסביבות 1800 מעלות. בשלב זה, חלקיקי הסיליקה בשלב הגז הנוצרים הם עדינים במיוחד ויוצרים אירוסולים עם גזים, שקשה לתפוס אותם.
לפיכך, הם מצטברים תחילה לחלקיקים גדולים יותר במצטבר, ואז נאספים על ידי מפריד ציקלון, ונשלחים לתנור דיסקדציה. הגז - שלב סיליקה נשטף בחנקן - המכיל אוויר עד שערך ה- pH הוא 4 עד 6, שהוא המוצר המוגמר